简介:30KV/100nA/0.6nm/0.7nm
简介:1.Z噪声水平:闭环,<30pm(RMS) 2.XY分辨率...
简介:8寸向下兼容
简介:8英寸
简介:6寸硅片向下兼容
简介:晶圆尺寸:8英寸向下兼容
简介:260mm以内载盘
简介:电源输入:220V,2800W;控温范围:室温-300℃
简介:3、4、6inch
简介:激光器波长1342nm,输出功率≥5W
简介:1. 6inch及以下的 GaAs,Inp; 2. 激光器波...