简介：晶圆尺寸：8英寸向下兼容
简介：ICP射频源：3000W/2MHz，RF射频源：600W/1...
简介：1.适用晶片尺寸：可通过更换夹具兼容4、6、8英寸标准尺寸晶...
简介：8寸向下兼容
简介：1.测量模式：白光共聚焦和白光干涉（VSI和PSI）；2.支...
简介：电源输入：220V，2800W；控温范围：室温-300℃
简介：分辨率0.3um、0.6um、1um
简介：8英寸
简介：1.可满足2寸、3寸、4英寸、6英寸、8英寸晶圆基板的蒸镀需...
简介：正置，8英寸大平台，反射光明场、暗场、偏光，微分干涉，斜照明...
简介：3KW/AC380V/0.4-0.7Mpa
简介：槽体部分包含显影槽、QDR槽和旋转机械臂；显影槽具备浸泡、1...
