简介：1.加速电压100KeV；2.写场大小：1048um*104...
简介：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片；2、镀膜均匀性：8...
简介：30KV/100nA/0.6nm/0.7nm
简介：1.适用晶圆尺寸：2-6英寸； 2.工艺温度范围：300-6...
简介：8英寸
简介：分辨率0.3um、0.6um、1um
简介：激光器波长1342nm，输出功率≥5W
简介：1.Z噪声水平：闭环，＜30pm（RMS） 2.XY分辨率...
简介：8寸向下兼容
简介：晶圆尺寸：8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；分辨...
简介：1、腔体极限真空≤8E-8Torr；2、10KW电子束枪电源...
简介：光谱波长范围为380nm-1050nm；膜厚测量范围为20n...
