简介：30KV/100nA/0.6nm/0.7nm
简介：1.Z噪声水平：闭环，＜30pm（RMS） 2.XY分辨率...
简介：8寸向下兼容
简介：1.加速电压100KeV；2.写场大小：1048um*104...
简介：AC380V 50Hz
简介：8英寸
简介：6寸硅片向下兼容
简介：晶圆尺寸：8英寸向下兼容
简介：580*500*400mm
简介：支持 8 英寸向下兼容；转速:0-10000rpm
简介：1.兼容尺寸：≤200mm晶圆，包括小片，2.最大键合压力：...
