简介：30KV/100nA/0.6nm/0.7nm
简介：1.Z噪声水平：闭环，＜30pm（RMS） 2.XY分辨率...
简介：8寸向下兼容
简介：8英寸
简介：6寸硅片向下兼容
简介：晶圆尺寸：8英寸向下兼容
简介：1.可满足2寸、3寸、4英寸、6英寸、8英寸晶圆基板的蒸镀需...
简介：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片；2、镀膜均匀性：8...
简介：ICP射频源：3000W/2MHz，RF射频源：600W/1...
简介：1.适用晶片尺寸：可通过更换夹具兼容4、6、8英寸标准尺寸晶...
简介：AC380V 50Hz
