简介：8英寸
简介：晶圆尺寸：8英寸向下兼容
简介：ICP射频源：3000W/2MHz，RF射频源：600W/1...
简介：1.适用晶片尺寸：可通过更换夹具兼容4、6、8英寸标准尺寸晶...
简介：8寸向下兼容
简介：8inch向下兼容，300w，4路工艺气体
简介：1.测量模式：白光共聚焦和白光干涉（VSI和PSI）；2.支...
简介：电源输入：220V，2800W；控温范围：室温-300℃
简介：AC380V 50Hz
简介：支持 8 英寸向下兼容；转速:0-10000rpm
