临界点干燥仪
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收费标准
机时550元/小时 -
设备型号
Automegasamdri-936, Series C -
当前状态
-
管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
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名称
临界点干燥仪
资产编号
S2406752
型号
Automegasamdri-936, Series C
规格
6寸硅片向下兼容
产地
美国
厂家
tousimis
所属品牌
tousimis
出产日期
购买日期
2024-10-18
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
likaikai@sztu.edu.cn
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
1..样品尺寸：6 inch向下兼容，配有2、3、4、6 inch晶圆样品架和10mm方晶样品架；
2.冷却系统温度：-30~10℃；
3.设备可使用二氧化碳、超纯乙醇和异丙醇；
4.冷凝器分离废弃乙醇和废气。
2.冷却系统温度：-30~10℃；
3.设备可使用二氧化碳、超纯乙醇和异丙醇；
4.冷凝器分离废弃乙醇和废气。
主要功能及特色
采用液态CO2置换样品中的液体，再经过加热加压使CO2达到气液临界点，通过CO2液态到气态无应力的特性达到无应力干燥的目的，保证样品结构不破坏。
可处理样品：
可处理样品：
样本检测注意事项
严禁一切带有酸碱或者其他不明液体的样品进入临界点干燥仪，酸碱和其他液体会严重损害设备。
样品制程后需快速放入有无水乙醇的容器，在进入设备前需要一直保持浸泡的状态。
样品制程后需快速放入有无水乙醇的容器，在进入设备前需要一直保持浸泡的状态。
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