金相显微镜
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时80元/小时 -
设备型号
DM8000 M -
当前状态
-
管理员
武芹,张敏 18926046977 18859197870 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
金相显微镜
资产编号
S2406155
型号
DM8000 M
规格
8英寸
产地
德国
厂家
Leica Microsystems CMS GmbH
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-03-19
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
武芹
联系电话
18926046977,18859197870
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、观察方式：反射光明场、高清暗场、偏光，微分干涉，斜照明，透射光明场
2、目镜10x，视场数25mm。每个目镜均可单独进行屈光度调整
3、物镜：平场半复消色差萤石物镜5x：NA≥0.15，WD≥12.2mm；平场半复消色差萤石物镜10x：NA≥0.30，WD≥11.0mm;平场半复消色差萤石物镜20x：NA≥0.45，WD≥3.0mm，平场半复消色差萤石物镜50x：NA≥0.80，WD≥1.1mm,平场半复消色差萤石物镜100x：NA≥0.90，WD≥1.1mm
4、照明装置：长寿命高亮度LED照明系统；透射光源可以独立控制，可以同时打开反射及透射光源
5、机械式载物台：载物台行程200mm*200mm，透射光区域245mm*245mm，带快速移动功能；配备晶圆托盘，可旋转，支持3/4/6/8英寸晶圆
6、 最大样品高度为35mm
2、目镜10x，视场数25mm。每个目镜均可单独进行屈光度调整
3、物镜：平场半复消色差萤石物镜5x：NA≥0.15，WD≥12.2mm；平场半复消色差萤石物镜10x：NA≥0.30，WD≥11.0mm;平场半复消色差萤石物镜20x：NA≥0.45，WD≥3.0mm，平场半复消色差萤石物镜50x：NA≥0.80，WD≥1.1mm,平场半复消色差萤石物镜100x：NA≥0.90，WD≥1.1mm
4、照明装置：长寿命高亮度LED照明系统；透射光源可以独立控制，可以同时打开反射及透射光源
5、机械式载物台：载物台行程200mm*200mm，透射光区域245mm*245mm，带快速移动功能；配备晶圆托盘，可旋转，支持3/4/6/8英寸晶圆
6、 最大样品高度为35mm
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
