清洗甩干机（3寸和4寸）
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
SS-T04-SG-02B -
当前状态
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管理员
冀晓博,容炎森 18666803994 18218426360 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
清洗甩干机（3寸和4寸）
资产编号
S2405849
型号
SS-T04-SG-02B
规格
1、每套设备包含3寸和4寸两个甩干腔； 2、设备尺寸小于等于L*W*H=620mm×940mm×1880mm； 3、腔体采用316LSUS板材焊接而成，电解抛光，板材厚度≥2mm；
产地
中国
厂家
苏州施密科微电子设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-04-26
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18666803994,18218426360
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、每套设备包含3寸和4寸两个甩干腔； 2、设备尺寸小于等于L*W*H=620mm×940mm×1880mm； 3、腔体采用316LSUS板材焊接而成，电解抛光，板材厚度≥2mm；
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