自动涂胶显影机
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收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
ACD6C-22 -
当前状态
-
管理员
杨彪,冀晓博 13794360417 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
自动涂胶显影机
资产编号
S2507486
型号
ACD6C-22
规格
3、4、6inch
产地
中国
厂家
宁波润华全芯微电子设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-17
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
杨彪
联系电话
13794360417,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
1. 兼容尺寸：3、4、6inch晶圆，包括透明片。
2. 适用光刻胶粘度：5~700cp；
3. 3、4inch匀胶腔体光刻胶管路4路，6inch匀胶腔体光刻胶管路4路。
4. 3、4inch显影腔体显影1路+定影1路，6inch显影腔体显影1路+定影1路。
5. 具有预清洗、切边、背洗功能。
6. 配备低温热盘（180℃）、高温热盘（250℃）、冷盘、HMDS烘烤热盘。
2. 适用光刻胶粘度：5~700cp；
3. 3、4inch匀胶腔体光刻胶管路4路，6inch匀胶腔体光刻胶管路4路。
4. 3、4inch显影腔体显影1路+定影1路，6inch显影腔体显影1路+定影1路。
5. 具有预清洗、切边、背洗功能。
6. 配备低温热盘（180℃）、高温热盘（250℃）、冷盘、HMDS烘烤热盘。
主要功能及特色
该设备可用于3、4、6inch晶圆的自动化增粘、涂胶、烘烤、切边、背洗、显影等制程，配合EBL、Stepper等光刻设备，能够实现高精度尺寸的光刻图形化，可广泛用于光电器件、生物芯片、MEMS传感器等器件的微纳加工。
样本检测注意事项
1. 只能放置规则晶圆，不可用于非规则或碎片样品。
2. 光刻胶等试剂按使用量收费。
2. 光刻胶等试剂按使用量收费。
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