烘胶台
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收费标准
机时80元/小时 -
设备型号
HP100-PE -
当前状态
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管理员
容炎森,冀晓博 18218426360 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
烘胶台
资产编号
S2400378
型号
HP100-PE
规格
电源输入：220V，2800W；控温范围：室温-300℃
产地
中国
厂家
江苏雷博科学仪器有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-01-24
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18218426360,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.加热工作台尺寸220*220mm；
2.温度控制范围：室温~300℃，精度：±0.2℃；
3.顶针调节高度：0-30mm；
4.可存储100个recipe，每个recipe可设置5个加热阶段。
2.温度控制范围：室温~300℃，精度：±0.2℃；
3.顶针调节高度：0-30mm；
4.可存储100个recipe，每个recipe可设置5个加热阶段。
主要功能及特色
实现衬底的光刻胶烘烤。
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