化学机械抛光后清洗机
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收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
TSC-100 -
当前状态
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管理员
朱虹,刘亚莹 18134670217 19879163331 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
化学机械抛光后清洗机
资产编号
S2406866
型号
TSC-100
规格
1.适用晶片尺寸：可通过更换夹具兼容4、6、8英寸标准尺寸晶圆，和200mm以内非标准尺寸贴膜晶片。 2.单工艺腔体，清洗工艺包括预清洗，单面刷洗，漂洗，兆声清洗，N2吹干和甩干
产地
中国
厂家
北京特思迪半导体设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-02
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
切磨抛
资产负责人
董颖慧
联系电话
18134670217,19879163331
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.适用晶片尺寸：可通过更换夹具兼容4、6、8英寸标准尺寸晶圆，和200mm以内非标准尺寸贴膜晶片。
2.单工艺腔体，清洗工艺包括预清洗，单面刷洗，漂洗，兆声清洗，N2吹干和甩干
2.单工艺腔体，清洗工艺包括预清洗，单面刷洗，漂洗，兆声清洗，N2吹干和甩干
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