清洗甩干机（8寸和6寸）
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
SS-T08-SG-02B -
当前状态
-
管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
清洗甩干机（8寸和6寸）
资产编号
S2405852
型号
SS-T08-SG-02B
规格
8寸向下兼容
产地
中国
厂家
施密科
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-06-20
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.晶圆尺寸：6inch、8inch（2腔体）；
2.马达最大转速2800 RPM;
3.冲洗烘干的时间、顺序、转速可分段编辑；
4.设备具备冲水+甩干功能，水压≥0.2MPa；
5.设备具备热氮吹扫功能，氮气压力≥0.4MPa，热氮温度≥65℃；
6.设备具有在甩干后进行颗粒度性能检测功能，0.3μm颗粒增加值≤30颗微粒/晶圆；
7.温度范围在室温~100℃
8.震动控制在500μm（2000rpm、8inch）以下
2.马达最大转速2800 RPM;
3.冲洗烘干的时间、顺序、转速可分段编辑；
4.设备具备冲水+甩干功能，水压≥0.2MPa；
5.设备具备热氮吹扫功能，氮气压力≥0.4MPa，热氮温度≥65℃；
6.设备具有在甩干后进行颗粒度性能检测功能，0.3μm颗粒增加值≤30颗微粒/晶圆；
7.温度范围在室温~100℃
8.震动控制在500μm（2000rpm、8inch）以下
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
