化合物激光隐形切割机
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收费标准
机时700元/小时 -
设备型号
Inducer-5261 -
当前状态
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管理员
董颖慧,容炎森 18688337539 18218426360 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
化合物激光隐形切割机
资产编号
S2600804
型号
Inducer-5261
规格
1. 6inch及以下的 GaAs，Inp; 2. 激光器波长：1064nm；3. 支持手动和自动划片操作；4. 配备动态焦点补偿系统
产地
中国
厂家
苏州德龙激光股份有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-08-12
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
切磨抛
资产负责人
董颖慧
联系电话
18688337539,18218426360
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1. 支持6inch及以下的 GaAs，Inp 衬底隐形切割
2. 激光器波长1064nm，标准输出功率5W
3. 支持手动和自动划片操作，支持全自动上下片，全自动识别切割
4. 切割允许斜裂范围≤±5um
5. 配备动态焦点补偿系统，高度补偿范围±15um
6. 支持Hasen cut功能
2. 激光器波长1064nm，标准输出功率5W
3. 支持手动和自动划片操作，支持全自动上下片，全自动识别切割
4. 切割允许斜裂范围≤±5um
5. 配备动态焦点补偿系统，高度补偿范围±15um
6. 支持Hasen cut功能
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