扫描电子显微镜
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收费标准
机时600元/小时 -
设备型号
SU8600 -
当前状态
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管理员
董颖慧,刘亚莹 18688337539 19879163331 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
扫描电子显微镜
资产编号
S2600025
型号
SU8600
规格
1.冷场，高稳定性场发射电子枪；2.SE分辨率≤0.6nm@15kV(WD 4mm，非减速模式)，≤0.7nm@1kV（WD 1.5mm）；3.电子束束流最大20nA；4.加速电压0.01kV ~ 30kV；5.有能谱仪
产地
日本
厂家
Hitachi High-Tech Corporation
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-13
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
董颖慧
联系电话
18688337539,19879163331
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1. 冷场， 高稳定性场发射电子枪；
2. SE分辨率0.6nm@15kV(工作距离4mm，非减速模式)，0.7nm@1kV（工作距离1.5mm）;
3. 加速电压0.01kV ~ 30kV (10V/step);
4. 具有样品台上减速功能；
5. 配备高位二次电子探测器UD，SE和BSE信号接受比例0~100%可任意调节；
6. 配备样品室内二次电子探测器LD, 镜筒内半导体式背散射电子探测器IMD;
7. 支持样品尺寸：最大直径150mm，最大高度36mm;
8. 配有能谱仪EDS，分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗。
2. SE分辨率0.6nm@15kV(工作距离4mm，非减速模式)，0.7nm@1kV（工作距离1.5mm）;
3. 加速电压0.01kV ~ 30kV (10V/step);
4. 具有样品台上减速功能；
5. 配备高位二次电子探测器UD，SE和BSE信号接受比例0~100%可任意调节；
6. 配备样品室内二次电子探测器LD, 镜筒内半导体式背散射电子探测器IMD;
7. 支持样品尺寸：最大直径150mm，最大高度36mm;
8. 配有能谱仪EDS，分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗。
主要功能及特色
1. SE和BSE高分辨形貌表征，可做元素分析
2. 支持150mm直径样品，有4inch和6inch 晶圆夹具；
3. 配有CD测量软件，可测线宽
2. 支持150mm直径样品，有4inch和6inch 晶圆夹具；
3. 配有CD测量软件，可测线宽
样本检测注意事项
测试样品无油、不易挥发，无磁性。
设备使用相关说明
校内：300元/小时；校外：600元/小时。
样品自制。
喷Pt：50元/次。
样品自制。
喷Pt：50元/次。
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