电子束蒸发镀膜机
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收费标准
机时800元/小时 -
设备型号
ei-501z -
当前状态
-
管理员
宋惠雪,林清平 15889668546 13602651608 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
电子束蒸发镀膜机
资产编号
S2406996
型号
ei-501z
规格
在基板上沉积多种金属膜，金属薄膜材料至少包含Ti、Ni、Al、Au、Ag、Pt、Ge、Pd；极限真空：≤3.0x10-5Pa，配备电子束蒸发源，坩埚数目6，坩埚量40cc。
产地
中国
厂家
ULVAC SUZHOU Co.,Ltd.
所属品牌
出产日期
购买日期
2023-10-27
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
薄膜
资产负责人
宋惠雪
联系电话
15889668546,13602651608
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.极限真空：≤3.0x10-5Pa，压力上升：≤5.0x10-6（Pa*m3/s），排气速度：需保证20分钟内到达3.0x10-4Pa；
2.配备电子束蒸发源，坩埚数目6，坩埚量40cc，自动切换，具有自动坩埚定位功能，可蒸镀多层膜；
3.同时配备电子束蒸发源和热阻式蒸发源；
4.提供3套垂直蒸发公转盘镀锅：一套适配2英寸、3英寸、4英寸晶圆基板，可装基板24片；一套适配6英寸晶圆基板，可装基板9片； 一套适配8英寸晶圆基板，可装基板不6片。提供一套行星转镀锅，兼容3英寸、4英寸、6英寸晶圆基板。
5.提供2套斜向蒸发（角度从水平到65°可以手动调节，调节精度是1°）公转盘镀锅：一套适配3英寸晶圆基板，可装基板4片；一套适配4英寸晶圆基板，可装基板4片；
6.腔体内加热最大加热温度350℃。
2.配备电子束蒸发源，坩埚数目6，坩埚量40cc，自动切换，具有自动坩埚定位功能，可蒸镀多层膜；
3.同时配备电子束蒸发源和热阻式蒸发源；
4.提供3套垂直蒸发公转盘镀锅：一套适配2英寸、3英寸、4英寸晶圆基板，可装基板24片；一套适配6英寸晶圆基板，可装基板9片； 一套适配8英寸晶圆基板，可装基板不6片。提供一套行星转镀锅，兼容3英寸、4英寸、6英寸晶圆基板。
5.提供2套斜向蒸发（角度从水平到65°可以手动调节，调节精度是1°）公转盘镀锅：一套适配3英寸晶圆基板，可装基板4片；一套适配4英寸晶圆基板，可装基板4片；
6.腔体内加热最大加热温度350℃。
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