椭偏仪
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时300元/小时 -
设备型号
SE-2000 -
当前状态
-
管理员
武芹,张敏 18926046977 18859197870 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
椭偏仪
资产编号
S2502756
型号
SE-2000
规格
光谱范围190nm -1700nm；微光斑（365um*470um），超微光斑（60um）；支持8inch及以下晶圆测量
产地
匈牙利
厂家
Semilab Zrt.
所属品牌
semilab
出产日期
购买日期
2024-05-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
武芹
联系电话
18926046977,18859197870
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
1.光斑尺寸：微光斑（365um*470um），超微光斑（60um）；
2.光谱范围190nm-1700nm；
3.样品台200mm，支持8inch及以下晶圆测量；
2.光谱范围190nm-1700nm；
3.样品台200mm，支持8inch及以下晶圆测量；
主要功能及特色
可测量半透明薄膜材料的厚度、折射率及消光系数等光学参数
样本检测注意事项
液体及粉末样品不可测量，其他样品测量前请与设备管理员沟通
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
