显影清洗机
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
SS-T08-XYW-03B -
当前状态
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管理员
容炎森,冀晓博 18218426360 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
显影清洗机
资产编号
S2317859
型号
SS-T08-XYW-03B
规格
槽体部分包含显影超声槽、QDR 槽和水洗槽;显影超声槽采用 80KHz 超声波，功率 800W 可调
产地
中国
厂家
苏州施密科微电子设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2023-06-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18218426360,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.晶圆尺寸：6英寸及以下，25片/批;8英寸，单片，定制花篮；
2.槽体部分包含显影超声槽、QDR槽和水洗槽；
3.显影超声槽采用80KHz超声波，功率800W可调；
4.QDR 槽提供可视化触摸屏，在触摸屏里可将喷淋+溢流+鼓泡+快排模块化设计，每个工序时间可在0~999s 自由设定，并可设定重复次数，以达到清洗效果。
2.槽体部分包含显影超声槽、QDR槽和水洗槽；
3.显影超声槽采用80KHz超声波，功率800W可调；
4.QDR 槽提供可视化触摸屏，在触摸屏里可将喷淋+溢流+鼓泡+快排模块化设计，每个工序时间可在0~999s 自由设定，并可设定重复次数，以达到清洗效果。
主要功能及特色
用于晶圆的光刻胶显影和残留品清洗。
预约资源
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公告
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