抛光机
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收费标准
机时400元/小时 -
设备型号
TAP-500 -
当前状态
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管理员
朱虹,刘亚莹 13040802701 18218426360 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
抛光机
资产编号
S2600816
型号
TAP-500
规格
兼容≤8英寸Si、GaAs、InP衬底及键合/贴膜/贴蜡片；双抛光头；6英寸工艺指标：GaAs粗糙度≤4nm、Si≤1nm，TTV≤2μm（边缘内3mm）、WTW≤±2μm（中心点）
产地
中国
厂家
北京特思迪半导体设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-10
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
切磨抛
资产负责人
朱虹
联系电话
13040802701,18218426360
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
GaAs抛光后表面粗糙度≤4nm，Si≤1nm，单片内厚度偏差TTV≤2μm（边缘向内3mm测），片间厚度偏差WTW≤±2μm（中心点测）。可靠性：连续加工5个运行无硬件异常，连续60片良率＞95%。
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