快速退火炉
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收费标准
机时450元/小时 -
设备型号
JetFirst300C -
当前状态
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管理员
林清平,朱虹 13602651608 18134670217 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
快速退火炉
资产编号
S2507506
型号
JetFirst300C
规格
1.样品尺寸：8英寸向下兼容 2.工艺温度范围：25℃-1200℃. 3.工艺气体4路：N2/Ar/O2及4%H2/N2
产地
法国
厂家
Annealsys SAS
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-06
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
薄膜
资产负责人
林清平
联系电话
13602651608,18134670217
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：8英寸向下兼容
2.工艺温度范围：25℃-1200℃
3.升温速率：10-150℃/秒
4.降温速率：10-100℃/秒
5.温度控制重复性：±1℃
6.温度控制均匀性：≤5%
7.温度过冲和下冲：≤±1℃
8.工艺气体4路：N2/Ar/O2及4%H2/N2
2.工艺温度范围：25℃-1200℃
3.升温速率：10-150℃/秒
4.降温速率：10-100℃/秒
5.温度控制重复性：±1℃
6.温度控制均匀性：≤5%
7.温度过冲和下冲：≤±1℃
8.工艺气体4路：N2/Ar/O2及4%H2/N2
主要功能及特色
用于欧姆接触合金化，离子注入后退火，快速热氧化，不同气氛下快速热退火，消除应力等
预约资源
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