电子束光刻机
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收费标准
机时3000元/小时 -
设备型号
EBPG5150Plus -
当前状态
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管理员
冀晓博,杨彪 18666803994 13794360417 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束光刻机
资产编号
S2508731
型号
EBPG5150Plus
规格
1.加速电压100KeV；2.写场大小：1048um*1048um；3.图形发生器最大扫描频率125MHz，范围600Hz-125MHz
产地
荷兰
厂家
Raith B.V.
所属品牌
出产日期
购买日期
2022-12-14
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
冀晓博
联系电话
18666803994,13794360417
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.加速电压100KeV；2.写场大小：1048um*1048um；3.图形发生器最大扫描频率125MHz，范围600Hz-125MHz
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