等离子体去胶机
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时600元/小时 -
设备型号
Virgo-D -
当前状态
-
管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
等离子体去胶机
资产编号
S2507442
型号
Virgo-D
规格
8英寸下兼容; 工艺温控:50-250℃士2℃。
产地
中国
厂家
上海稷以科技有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-04-22
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1..样品尺寸： 8 inch向下兼容，托盘兼容；
2. 样品台温度：50~250℃，精度±2℃；
3. 射频功率：最高ICP 2000 W；
4. 底压：≤20 mTorr；
漏率：≤ 20 mtorr/min；
5.气路系统： O2 、N2 、CF4。
2. 样品台温度：50~250℃，精度±2℃；
3. 射频功率：最高ICP 2000 W；
4. 底压：≤20 mTorr；
漏率：≤ 20 mtorr/min；
5.气路系统： O2 、N2 、CF4。
附件下载
公告
同类仪器
