离子束刻蚀机
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收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
IBE-200 -
当前状态
-
管理员
吴国才,时建成 18898585631 13667027932 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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- 公告
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名称
离子束刻蚀机
资产编号
S2404136
型号
IBE-200
规格
AC380V 50Hz
产地
中国
厂家
北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-03-05
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
时建成
联系电话
18898585631,13667027932
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1. 样品尺寸：6inch向下兼容
2. 离子束流密度>1.75mA/cm^2
3. 极限真空<7*10^-5 Pa
4. 样品台转速0-20RPM可调
5. 离子源Ar，离子能量100-1000eV
2. 离子束流密度>1.75mA/cm^2
3. 极限真空<7*10^-5 Pa
4. 样品台转速0-20RPM可调
5. 离子源Ar，离子能量100-1000eV
主要功能及特色
用于金属薄膜刻蚀
设备使用相关说明
自主上机机时费：
校外用户，500元/小时
校内用户，250元/小时
校外用户，500元/小时
校内用户，250元/小时
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