电子束曝光机
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2/人使用者
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19/次总次数
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46/小时总时长
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1/人收藏者
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收费标准
机时300元/小时 -
设备型号
ELPHY Plus -
当前状态
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管理员
宋宗鹏 0755-23256168 -
放置地点
坪山校区（校本部）B4栋1层G108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束曝光机
资产编号
S2406167
型号
ELPHY Plus
规格
产地
德国
厂家
Raith GmbH
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
分析测试中心
使用性质
所属分类
资产负责人
宋宗鹏
联系电话
0755-23256168
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B4栋1层G108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、图形发生器基于高速高精度DSP技术。
2、扫描频率不低于20 MHz，最小停留时间不大于50ns，最小停留时间增量不大于1ns。
3、配备用于X和Y方向束偏转的两块高速数据收集和控制系统（16位）。
4、需配备6块乘法数模，16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变。
5、含有束开关控制电路和高速图像采集和标记获取。
6、提供通用样品台，采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20 x 20 mm。
7、提供用于写场精细校准的CHESSY，和用于测量束电流的法拉第杯。
2、扫描频率不低于20 MHz，最小停留时间不大于50ns，最小停留时间增量不大于1ns。
3、配备用于X和Y方向束偏转的两块高速数据收集和控制系统（16位）。
4、需配备6块乘法数模，16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变。
5、含有束开关控制电路和高速图像采集和标记获取。
6、提供通用样品台，采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20 x 20 mm。
7、提供用于写场精细校准的CHESSY，和用于测量束电流的法拉第杯。
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