感应耦合等离子体增强化学气相沉积仪
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收费标准
机时900元/小时 -
设备型号
SI500D -
当前状态
-
管理员
林清平,宋惠雪 13602651608 15889668546 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
感应耦合等离子体增强化学气相沉积仪
资产编号
S2507501
型号
SI500D
规格
1.样品尺寸：8英寸向下兼容 2.工作温度范围：-20℃~300℃ 3.射频功率：功率≥1000 W 4.反应气体：Ar, O2, CF4, N2, CH4, H2，5%SiH4, NH3 5.均匀性：＜5%
产地
德国
厂家
SENTECH Instruments GmbH
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-07
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
薄膜
资产负责人
林清平
联系电话
13602651608,15889668546
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：8英寸向下兼容
2.工作温度范围：-20℃~300℃
3.射频功率：功率≥1000 W
4.反应气体：Ar, O2, CF4, N2, CH4, H2，5%SiH4, NH3
5.均匀性：＜5%
2.工作温度范围：-20℃~300℃
3.射频功率：功率≥1000 W
4.反应气体：Ar, O2, CF4, N2, CH4, H2，5%SiH4, NH3
5.均匀性：＜5%
主要功能及特色
用于制备SiO2, SiNx,a-Si等薄膜的生长。
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公告
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