半自动掩膜版清洗机
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收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
MCL9I-1 -
当前状态
-
管理员
冀晓博,杨彪 18666803994 13794360417 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
半自动掩膜版清洗机
资产编号
S2406355
型号
MCL9I-1
规格
清洗管路：3路；清洗刷头：1个；可兼容掩膜版尺寸：5，7，9inch
产地
中国
厂家
宁波润华全芯微电子设备有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-28
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
冀晓博
联系电话
18666803994,13794360417
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.适用于5inch、7inch、9inchMASK清洗，chuck多点支撑、机械安全限位；
2.三扫描臂（去离子水，毛刷，丙酮，氮气）；
3.流体压力可调最大0.3MPa，尼龙毛刷旋转速度0-200rpm，氮气压力0.4-0.8MPa，丙酮压力0.15-0.3MPa；
4.单片MASK清洗时间＜8min。
2.三扫描臂（去离子水，毛刷，丙酮，氮气）；
3.流体压力可调最大0.3MPa，尼龙毛刷旋转速度0-200rpm，氮气压力0.4-0.8MPa，丙酮压力0.15-0.3MPa；
4.单片MASK清洗时间＜8min。
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