化学蚀刻清洗台
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收费标准
机时250元/小时 -
设备型号
SN-CECT-1-200-SZ -
当前状态
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管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
化学蚀刻清洗台
资产编号
S2600030
型号
SN-CECT-1-200-SZ
规格
6寸向下兼容25片/批,8寸可单片作业；
产地
中国
厂家
思恩半导体科技（苏州）有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-06-14
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
likaikai@sztu.edu.cn
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：6 inch向下兼容25片/批，8 inch可单片作业；
2.ACE槽：35℃～50℃，具有浸泡+加热+循环过滤+超声功能；
3.NMP槽：23℃～85℃，具有浸泡+加热+循环过滤+超声功能；
4.IPA槽：具有浸泡 +循环功能；
5.QDR槽：具有喷淋+鼓泡+溢流+快排功能。
2.ACE槽：35℃～50℃，具有浸泡+加热+循环过滤+超声功能；
3.NMP槽：23℃～85℃，具有浸泡+加热+循环过滤+超声功能；
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5.QDR槽：具有喷淋+鼓泡+溢流+快排功能。
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