步进光刻机（旧）
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收费标准
机时2200元/小时 -
设备型号
NSR2205i4E -
当前状态
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管理员
杨彪,冀晓博 13794360417 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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- 公告
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名称
步进光刻机（旧）
资产编号
S2600437
型号
NSR2205i4E
规格
分辨率350nm;光源i-line365nm；缩放比5:1
产地
日本
厂家
NIKON CORPORATION
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-08-28
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
杨彪
联系电话
13794360417,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.晶圆尺寸：3、4、6、8英寸兼容；
2.自动聚焦重复性：±0.15μm；
3.聚焦测量重复性：3σ ≤0.1μm；
4.镜头稳定性：≤50nm；
5.曝光面积：22mm*22mm；
6.曝光能量：≥1000mw/cm2；
7.照明均一性：≤1.5%；
8.工作台步进精度：3σ ≤40nm；
9.步进速度：20sec实现不小于16个shots；
10.对准精度：3σ ≤45nm；
11.预对位重复性：3σ ≤20μm；
12.缩放比：5比1；
13.曝光波长：i-line 365nm；
14.镜头解析度：≤0.35μm；
15.镜头焦深：≥0.5μm；
16.CD均匀性：≤40nm。
2.自动聚焦重复性：±0.15μm；
3.聚焦测量重复性：3σ ≤0.1μm；
4.镜头稳定性：≤50nm；
5.曝光面积：22mm*22mm；
6.曝光能量：≥1000mw/cm2；
7.照明均一性：≤1.5%；
8.工作台步进精度：3σ ≤40nm；
9.步进速度：20sec实现不小于16个shots；
10.对准精度：3σ ≤45nm；
11.预对位重复性：3σ ≤20μm；
12.缩放比：5比1；
13.曝光波长：i-line 365nm；
14.镜头解析度：≤0.35μm；
15.镜头焦深：≥0.5μm；
16.CD均匀性：≤40nm。
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