匀胶机
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收费标准
机时80元/小时 -
设备型号
AC200-PE -
当前状态
-
管理员
容炎森,冀晓博 18218426360 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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- 公告
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名称
匀胶机
资产编号
S2315616
型号
AC200-PE
规格
支持 8 英寸向下兼容；转速:0-10000rpm
产地
中国
厂家
江苏雷博科学仪器有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2023-07-07
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18218426360,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：最大支持晶圆尺寸为8英寸；
2.加速度可控范围:0~50000RPM/S；
3.在8英寸范围内旋涂作业均匀性<3%；
4.转速范围:最大转速10000RPM；
5.配备7种规格的标准真空载物盘(直径10mm、25mm、2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸)；
6.配备触摸屏操作，单步旋涂及多步旋涂可选，内置100 组可编辑匀胶程序。
2.加速度可控范围:0~50000RPM/S；
3.在8英寸范围内旋涂作业均匀性<3%；
4.转速范围:最大转速10000RPM；
5.配备7种规格的标准真空载物盘(直径10mm、25mm、2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸)；
6.配备触摸屏操作，单步旋涂及多步旋涂可选，内置100 组可编辑匀胶程序。
主要功能及特色
用于1-8英寸衬底以及碎片的正胶、负胶以及特种胶的旋涂。
设备使用相关说明
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
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