等离子体清洗机
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
TRITON40 -
当前状态
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管理员
杨彪,冀晓博 13794360417 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
等离子体清洗机
资产编号
S2404113
型号
TRITON40
规格
8inch向下兼容，300w，4路工艺气体
产地
中国
厂家
上海稷以科技有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-26
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
杨彪
联系电话
13794360417,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 备注
主要规格&技术指标
1. 兼容尺寸：8inch向下，配置晶圆托盘。
2. 射频源：频率13.56MHz，功率0~300W可调。
3. 工艺气体：O2、Ar 、N2。
2. 射频源：频率13.56MHz，功率0~300W可调。
3. 工艺气体：O2、Ar 、N2。
主要功能及特色
1. 用于对样品表面有机物的清洗，尤其是用于去除光刻后的残留底膜。
2. 用于材料表面改性、粗化。
2. 用于材料表面改性、粗化。
备注
不可将液态、粉末物品放入腔体。
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