洁净室烘箱
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
MOLWG-120 -
当前状态
-
管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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- 公告
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名称
洁净室烘箱
资产编号
S2405315
型号
MOLWG-120
规格
8寸向下兼容
产地
中国
厂家
真萍科技
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-03-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1. 使用温度：30~250℃；
2. 腔体尺寸：W450×D450×H600mm；
3. 腔体个数：1个；
4. 控温稳定度：±1℃；
5. 温度均匀性：±1.5%以内；
6.氮气流量控制：流量计量程20~240LPM，配氮气减压阀；
7.可编辑工艺程序：8个，每个程序可设定升温，恒温，降温步骤；
8. 洁净度：百级（0.3μm以上颗粒≤100颗）；
9.升温时间：30℃到150℃≤30min，降温时间：250℃降到70℃≤60min，风冷和水冷降温。
2. 腔体尺寸：W450×D450×H600mm；
3. 腔体个数：1个；
4. 控温稳定度：±1℃；
5. 温度均匀性：±1.5%以内；
6.氮气流量控制：流量计量程20~240LPM，配氮气减压阀；
7.可编辑工艺程序：8个，每个程序可设定升温，恒温，降温步骤；
8. 洁净度：百级（0.3μm以上颗粒≤100颗）；
9.升温时间：30℃到150℃≤30min，降温时间：250℃降到70℃≤60min，风冷和水冷降温。
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