感应耦合等离子体刻蚀机
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收费标准
机时1100元/小时 -
设备型号
PlasmaPro 100 Cobra -
当前状态
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管理员
时建成,吴国才 13667027932 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
感应耦合等离子体刻蚀机
资产编号
S2507465
型号
PlasmaPro 100 Cobra
规格
RF射频源：0-600W可调，13.56MHz
产地
英国
厂家
Oxford Instruments Plasma Technology
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-22
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
时建成
联系电话
13667027932,18898585631
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：8 inch向下兼容，小片及不规则片可通过载盘处理；
2.气路系统：Ar/O2/CHF3/CF4/C4F8/SF6/HBr/Cl2
3.ICP射频源：2MHz，功率≤3000W；RF射频源13.56MHz，功率≤300W；
4.背氦冷却，OES终点监测
5.均匀性<5%,
6. 样品台温度范围：-30~80℃，控制精度±1℃。
2.气路系统：Ar/O2/CHF3/CF4/C4F8/SF6/HBr/Cl2
3.ICP射频源：2MHz，功率≤3000W；RF射频源13.56MHz，功率≤300W；
4.背氦冷却，OES终点监测
5.均匀性<5%,
6. 样品台温度范围：-30~80℃，控制精度±1℃。
主要功能及特色
用于氧化硅、氮化硅等介质膜层刻蚀
设备使用相关说明
自主上机机时费：
校外用户，1100元/小时
校内用户，550元/小时
校外用户，1100元/小时
校内用户，550元/小时
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