聚焦离子束分析仪
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收费标准
机时1600元/小时 -
设备型号
Helios 5 UC -
当前状态
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管理员
武芹,张敏 18926046977 18859197870 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
聚焦离子束分析仪
资产编号
S2600509
型号
Helios 5 UC
规格
30KV/100nA/0.6nm/0.7nm
产地
捷克
厂家
Thermo Fisher Scientific
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-07-04
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
武芹
联系电话
18926046977,18859197870
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1、离子束加速电压范围包含0.5kV - 30 kV；束流强度范围包含1pA - 100nA;
2、产品自身具备实时观察离子束加工的监控功能；
3、电子束分辨率≤0.6nm@15kV, ≤0.7nm@1kV；
4、电子束成像电压范围包含50V－30KV (连续可调) ；束流强度范围包含0.8pA - 50nA。
2、产品自身具备实时观察离子束加工的监控功能；
3、电子束分辨率≤0.6nm@15kV, ≤0.7nm@1kV；
4、电子束成像电压范围包含50V－30KV (连续可调) ；束流强度范围包含0.8pA - 50nA。
主要功能及特色
1，高精度微纳加工，对材料进行纳米级的刻蚀、切割、沉积和图案化；
2，高质量TEM样品制备，配备upolish功能，尤其适合原子分辨率观察、EBSD高标定率及敏感材料的最终减薄；
3，STEM原位成像：无需转移样品，直接在同一系统中获得明场/暗场扫描透射像；
4、三维结构重构：将FIB的逐层切割与SEM的高分辨率成像结合，自动化采集二维图像序列，重构材料内部微观结构的三维模型；
5，阴极荧光光谱成像：配备高灵敏度CL探头。
2，高质量TEM样品制备，配备upolish功能，尤其适合原子分辨率观察、EBSD高标定率及敏感材料的最终减薄；
3，STEM原位成像：无需转移样品，直接在同一系统中获得明场/暗场扫描透射像；
4、三维结构重构：将FIB的逐层切割与SEM的高分辨率成像结合，自动化采集二维图像序列，重构材料内部微观结构的三维模型；
5，阴极荧光光谱成像：配备高灵敏度CL探头。
样本检测注意事项
送样前与管理员联系
设备使用相关说明
校内：800元/小时
校外：1600元/小时
校外：1600元/小时
备注
只接受送样，不支持客户上机。
预约资源
附件下载
公告
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