探针式轮廓仪
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收费标准
机时350元/小时 -
设备型号
Tencor TM P-17 -
当前状态
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管理员
武芹,张敏 18926046977 18859197870 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
探针式轮廓仪
资产编号
S2406014
型号
Tencor TM P-17
规格
8英寸
产地
马来西亚
厂家
KLA corporation
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-03-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
武芹
联系电话
18926046977,18859197870
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
1、垂直分辨率≤0.01A@10um。
2、垂直测量范围：0~327um。
3、单次最大扫描长度200mm（无需拼接）。
4、配备2D和3D形貌测试和分析功能。
2、垂直测量范围：0~327um。
3、单次最大扫描长度200mm（无需拼接）。
4、配备2D和3D形貌测试和分析功能。
主要功能及特色
测量薄膜样品厚度，及部分样品的表面轮廓信息
样本检测注意事项
粉末、液体、粘滞性薄膜不可测量。
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