反射式膜厚光谱仪
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收费标准
机时120元/小时 -
设备型号
F40 -
当前状态
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管理员
董颖慧,刘亚莹 18688337539 19879163331 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
反射式膜厚光谱仪
资产编号
S2404157
型号
F40
规格
光谱波长范围为380nm-1050nm；膜厚测量范围为20nm-40um(使用5X物镜)；配备4个镜头:5X 10X、20X、50X，光斑尺寸:5um-50um
产地
美国
厂家
FILMETRICS INC.
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-05
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
董颖慧
联系电话
18688337539,19879163331
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.反射式光谱测量，入射角90°，可实现单层膜/多层膜的膜厚、光学常数、反射率等测量。
2.光谱波长范围为380nm-1050nm
3.膜厚测量范围为20nm-40um(使用5X物镜)
4.准确度为2nm或0.2%(二者之间取较大值)
5.精度:≤0.02nm
6.稳定性:≤0.05nm
7.配备4个镜头:5X 10X、20X、50X,光斑尺寸5um-50um,可通过镜头切换
2.光谱波长范围为380nm-1050nm
3.膜厚测量范围为20nm-40um(使用5X物镜)
4.准确度为2nm或0.2%(二者之间取较大值)
5.精度:≤0.02nm
6.稳定性:≤0.05nm
7.配备4个镜头:5X 10X、20X、50X,光斑尺寸5um-50um,可通过镜头切换
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