原子力显微镜
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收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
NX20 -
当前状态
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管理员
武芹,张敏 18926046977 18859197870 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
原子力显微镜
资产编号
S2500949
型号
NX20
规格
1.Z噪声水平：闭环，＜30pm（RMS） 2.XY分辨率：闭环，0.15nm（RMS） 3.XY扫描范围100um*100um； 4.Z闭环扫描范围15um； 5.全自动X-Y位移台，8inch真空样品吸盘，行程200mm*200mm
产地
韩国
厂家
帕克股份有限公司
所属品牌
Park
出产日期
购买日期
2024-05-09
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
武芹
联系电话
18926046977,18859197870
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
主要规格&技术指标
1、非接触模式；
2、Z方向噪声水平<30pm(RMS)；
3、XY方向分辨率0.15mm(RMS);
4、XY方向扫描范围：100um*100um；
5、Z方向闭环扫描范围：15微米；
6、配备KPFM模块;
7、配备自动统计纳米力学成像功能，在得到样品图像的同时，可得到样品表面硬度，杨氏模量，纳米变形，附着力，样品压入刚度等信息；
8、配备8inch真空样品吸盘，可兼容2、3、4、6、8英寸晶圆；
2、Z方向噪声水平<30pm(RMS)；
3、XY方向分辨率0.15mm(RMS);
4、XY方向扫描范围：100um*100um；
5、Z方向闭环扫描范围：15微米；
6、配备KPFM模块;
7、配备自动统计纳米力学成像功能，在得到样品图像的同时，可得到样品表面硬度，杨氏模量，纳米变形，附着力，样品压入刚度等信息；
8、配备8inch真空样品吸盘，可兼容2、3、4、6、8英寸晶圆；
主要功能及特色
1、表面形貌成像：非接触模式，探针在扫描时不与样品表面接触，极大减少了探针磨损和样品损伤，可在纳米甚至原子尺度（垂直分辨率可达30pm，横向分辨率可达0.15nm）上三维成像，观察材料表面起伏、粗糙度、颗粒分布等；
2、电学性能探测：配备了开尔文探针力显微镜（KPFM）用于测量样品表面的电势差、功函数及表面电荷；
3、力学性能测量：通过探针与样品间的作用力，测量材料弹性模量、硬度等。
2、电学性能探测：配备了开尔文探针力显微镜（KPFM）用于测量样品表面的电势差、功函数及表面电荷；
3、力学性能测量：通过探针与样品间的作用力，测量材料弹性模量、硬度等。
样本检测注意事项
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