HMDS真空烘箱
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收费标准
机时200元/小时 -
设备型号
MD-40 -
当前状态
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管理员
容炎森,冀晓博 18218426360 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
HMDS真空烘箱
资产编号
S2404122
型号
MD-40
规格
内胆尺寸：450X450X450mm，外尺寸 W1030*H1730*D940mm，容积：90L，真空泵：采用防油泵,旋片式油泵极限真空度：133pa
产地
中国
厂家
合肥真萍电子科技有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-26
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
冀晓博
联系电话
18218426360,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.作业兼容尺寸：12inch及以下晶圆；
2.腔体尺寸：450*450*450mm，容积90L；
3.温度范围：30-200℃，最大可达250℃；
4.真空度：＜10Pa;
5.单次作业效率：200pcs@ 4inch wafer，100pcs@ 6inch wafer。
2.腔体尺寸：450*450*450mm，容积90L；
3.温度范围：30-200℃，最大可达250℃；
4.真空度：＜10Pa;
5.单次作业效率：200pcs@ 4inch wafer，100pcs@ 6inch wafer。
主要功能及特色
实现晶圆表面改性，增加与光刻胶的粘附力。
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公告
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