烘胶台
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收费标准
机时80元/小时 -
设备型号
KW-4AH-350 -
当前状态
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管理员
容炎森,冀晓博 18218426360 18666803994 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
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名称
烘胶台
资产编号
S2317862
型号
KW-4AH-350
规格
加热温度范围：室温-300℃；加热工作台尺寸：180mm
产地
中国
厂家
上海凯美特功能陶瓷技术有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2023-06-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18218426360,18666803994
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.加热工作台尺寸180mm*180mm；
2.最高温度300℃，温度可调；
3.最高温度时，工作台板上各处温度均匀性≤士3%；
4. 恒温波动度≤士2°C。
2.最高温度300℃，温度可调；
3.最高温度时，工作台板上各处温度均匀性≤士3%；
4. 恒温波动度≤士2°C。
主要功能及特色
实现衬底的光刻胶烘烤。
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