无氧烘箱
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收费标准
机时250元/小时 -
设备型号
MOLWY-120 -
当前状态
-
管理员
冀晓博,容炎森 18666803994 18218426360 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
无氧烘箱
资产编号
S2405317
型号
MOLWY-120
规格
使用温度：30℃-450℃；腔体尺寸：W450*D450*H600 MM；
产地
中国
厂家
合肥真萍电子科技有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-03-15
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
光刻
资产负责人
容炎森
联系电话
18666803994,18218426360
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.使用温度：30℃-450℃；
2.腔体尺寸：≥W450*D450*H600 MM；
3.腔体材料：SUS316不锈钢电解处理；
4.控温稳定度：±1℃；
5.温度均匀性：≤±1.5%；
6.氧含量：≤高温50ppm，配备氧含量分析仪实时监测；
7.氮气流量控制：流量计量程20-240LPM；
8.降氧时间：210000ppm降到50ppm时间≤30min；
9.可编辑工艺程序：≥15个，每个程序可设定升温，恒温，降温步骤；
10.洁净度：百级；
11.升温时间：30℃-350℃≤60min，降温时间：350℃降到80℃≤90min，风冷和水冷降温.
2.腔体尺寸：≥W450*D450*H600 MM；
3.腔体材料：SUS316不锈钢电解处理；
4.控温稳定度：±1℃；
5.温度均匀性：≤±1.5%；
6.氧含量：≤高温50ppm，配备氧含量分析仪实时监测；
7.氮气流量控制：流量计量程20-240LPM；
8.降氧时间：210000ppm降到50ppm时间≤30min；
9.可编辑工艺程序：≥15个，每个程序可设定升温，恒温，降温步骤；
10.洁净度：百级；
11.升温时间：30℃-350℃≤60min，降温时间：350℃降到80℃≤90min，风冷和水冷降温.
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