薄膜应力仪
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
1/人收藏者
-
收费标准
机时120元/样品 -
设备型号
FSM 500TC-R -
当前状态
-
管理员
董颖慧,刘亚莹 18688337539 19879163331 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
薄膜应力仪
资产编号
S2405673
型号
FSM 500TC-R
规格
双激光器：650nm和780nm，可自动切换； 腔体内有加热模块，支持工作温度：室温~500℃，惰性气体中测量(PN2)； 支持8inch及以下晶圆； 弓高测量范围1um至1mm，曲率半径测量范围2.4m至10 km； 可单线扫描和手动多线扫描（常温）
产地
美国
厂家
FRONTIER SEMICONDUCTOR
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-02-27
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
董颖慧
联系电话
18688337539,19879163331
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
双激光器：650nm和780nm，可自动切换；
腔体内有加热模块，支持工作温度：室温~500℃，惰性气体中测量(PN2)；
支持8inch及以下晶圆；
弓高测量范围1um至1mm，曲率半径测量范围2.4m至10 km；
可单线扫描和手动多线扫描（常温）
腔体内有加热模块，支持工作温度：室温~500℃，惰性气体中测量(PN2)；
支持8inch及以下晶圆；
弓高测量范围1um至1mm，曲率半径测量范围2.4m至10 km；
可单线扫描和手动多线扫描（常温）
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
