热蒸发镀膜机
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
0/人收藏者
-
收费标准
机时500元/小时 -
设备型号
ei-501z -
当前状态
-
管理员
宋惠雪,林清平 15889668546 13602651608 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
热蒸发镀膜机
资产编号
S2507365
型号
ei-501z
规格
1.可满足2寸、3寸、4英寸、6英寸、8英寸晶圆基板的蒸镀需求，适配公转。2.极限真空：≤3E-5Pa，压力上升：≤5E-6（Pa*m3/s），排气速度：需保证20分钟内到达3E-4Pa。3.薄膜均匀度：≤±5%（公转）。
产地
中国
厂家
ULVAC SUZHOU Co.,Ltd.
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-04-28
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
薄膜
资产负责人
宋惠雪
联系电话
15889668546,13602651608
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、满足8英寸及向下兼容晶圆基板的蒸镀需求，适配公转；
2、极限真空：≤3E-5Pa，压力上升：≤5E-6（Pa*m3/s）；
3、配备热阻蒸发源，钨舟数目≥5，钨舟量≥40cc，自动切换，具有自动定位功能，可蒸镀多层膜；
4、薄膜均匀度：≤±5%（公转）；
5、热阻电源额定功率≥6kW；
6、腔体内加热最大加热温度≥350℃；采用PID控温，控温精度：≤±0.1℃；
7、具备薄膜实时测量监控功能，一用一备，自动切换。
2、极限真空：≤3E-5Pa，压力上升：≤5E-6（Pa*m3/s）；
3、配备热阻蒸发源，钨舟数目≥5，钨舟量≥40cc，自动切换，具有自动定位功能，可蒸镀多层膜；
4、薄膜均匀度：≤±5%（公转）；
5、热阻电源额定功率≥6kW；
6、腔体内加热最大加热温度≥350℃；采用PID控温，控温精度：≤±0.1℃；
7、具备薄膜实时测量监控功能，一用一备，自动切换。
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
