电子束蒸发镀膜机
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收费标准
机时800元/小时 -
设备型号
EXPLORER-14 -
当前状态
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管理员
宋惠雪,林清平 15889668546 13602651608 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
电子束蒸发镀膜机
资产编号
S2600435
型号
EXPLORER-14
规格
1、腔体极限真空≤8E-8Torr；2、10KW电子束枪电源，坩埚的数目为6个；3、膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%
产地
美国
厂家
DENTON VACUUM
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-04-23
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
薄膜
资产负责人
宋惠雪
联系电话
15889668546,13602651608
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、腔体极限真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟；
2、一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的冷却水回路。
3、真空计及气体流量控制：两路气路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。
4、配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。
5、水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。
6、膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。
2、一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的冷却水回路。
3、真空计及气体流量控制：两路气路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。
4、配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。
5、水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。
6、膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。
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