湿法刻蚀机
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收费标准
机时250元/小时 -
设备型号
NBTJ-KS-06 -
当前状态
-
管理员
李凯凯,吴国才 18018776340 18898585631 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
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名称
湿法刻蚀机
资产编号
S2402917
型号
NBTJ-KS-06
规格
8寸向下兼容
产地
中国
厂家
施密科
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-01-17
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
刻蚀
资产负责人
李凯凯
联系电话
18018776340,18898585631
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.样品尺寸：6 inch向下兼容25片/批，8 inch可单片作业；
2.Cr刻蚀槽：室温；
3. Al刻蚀槽：室温-60℃，具有浸泡+加热功能+循环过滤+上下提拉功能；
4.去胶槽：石英材质，室温-100℃，具有浸泡+加热功能；
5.QDR槽：具有喷淋+鼓泡+溢流+快排功能。
2.Cr刻蚀槽：室温；
3. Al刻蚀槽：室温-60℃，具有浸泡+加热功能+循环过滤+上下提拉功能；
4.去胶槽：石英材质，室温-100℃，具有浸泡+加热功能；
5.QDR槽：具有喷淋+鼓泡+溢流+快排功能。
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