共聚焦显微镜
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收费标准
机时300元/小时 -
设备型号
ZetaTM-300 -
当前状态
-
管理员
董颖慧,刘亚莹 18688337539 19879163331 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
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名称
共聚焦显微镜
资产编号
S2501878
型号
ZetaTM-300
规格
1.测量模式：白光共聚焦和白光干涉（VSI和PSI）；2.支持8英寸样品；3.标准物镜：5×，20×，50×，100×；干涉物镜：10×，50×
产地
马来西亚
厂家
KLA corporation
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-05-08
所属单位
半导体微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
表征测试
资产负责人
董颖慧
联系电话
18688337539,19879163331
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋1层B108
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1.测量模式：白光共聚焦和白光干涉(VSI和PSI)
2.共聚焦模式探测过程不受样品表面粗糙度和反射率（小于0.5%到大于85% 反射率的样品均可同时测量）的限制。
3.电动载物台，尺寸200mm×200mm，XY移动行程200mm×200mm，支持自动拼接功能；
4.Z向测量分辨率：白光共聚焦13nm，白光干涉0.2nm；
5.Z向测量重复性：白光共聚焦≤0.5%，白光干涉≤0.4nm；
6.配备标准物镜5×，20×，50×，100×；配备干涉物镜10×，50×；
2.共聚焦模式探测过程不受样品表面粗糙度和反射率（小于0.5%到大于85% 反射率的样品均可同时测量）的限制。
3.电动载物台，尺寸200mm×200mm，XY移动行程200mm×200mm，支持自动拼接功能；
4.Z向测量分辨率：白光共聚焦13nm，白光干涉0.2nm；
5.Z向测量重复性：白光共聚焦≤0.5%，白光干涉≤0.4nm；
6.配备标准物镜5×，20×，50×，100×；配备干涉物镜10×，50×；
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