三维白光干涉表面形貌仪

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    使用者
  • 65/次
    总次数
  • 146/小时
    总时长
  • 6/人
    收藏者

收费标准

机时
200元/小时

设备型号

Contour X-500

当前状态

管理员

宋宗鹏 15920062597

放置地点

坪山校区(校本部)B2栋6层B617
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名称

三维白光干涉表面形貌仪

资产编号

S2117816

型号

Contour X-500

规格

产地

马来西亚

厂家

Bruker Nano Inc.

所属品牌

出产日期

购买日期

2021-08-23

所属单位

分析测试中心

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

张君贤 宋宗鹏

联系电话

15920062597

联系邮箱

放置地点

坪山校区(校本部)B2栋6层B617
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.三种工作模式:垂直扫描干涉测量模式(VSI);相移干涉测量模式(PSI);结合VSI和PSI的自适应通用测量模式(USI);2.垂直分辨率:<0.01nm Ra;RMS重现性:0.01nm;3.垂直扫描速度:≥37微米/秒;4.自动样品台:XY移动范围≥150mm×150mm,Z方向聚焦行程:≥100mm;5.干涉物镜:50x(工作距离≥3.4mm)、10x(工作距离≥7.4mm)。
主要功能及特色
三维白光干涉表面形貌仪用于观察和分析样品表面的粗糙度,粒度,面型,平面度,平行度微观结构等,应用于太阳能、显示屏、半导体、材料科学、光学器件等一系列表面检测要求。特别适合应用在半导体、环境能源、建筑材料、汽车、显示行业、医疗植入等产业的大尺寸样品。在科学研究、产品开发、工艺控制、失效分析中有广泛的应用。
设备使用相关说明
校内:200元/小时;校外:400元/小时。
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