三维白光干涉表面形貌仪
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26/人使用者
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82/次总次数
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183/小时总时长
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6/人收藏者
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收费标准
机时200元/小时 -
设备型号
Contour X-500 -
当前状态
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管理员
宋宗鹏 15920062597 -
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋6层B617
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
三维白光干涉表面形貌仪
资产编号
S2117816
型号
Contour X-500
规格
产地
马来西亚
厂家
Bruker Nano Inc.
所属品牌
出产日期
购买日期
2021-08-23
所属单位
分析测试中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张君贤 宋宗鹏
联系电话
15920062597
联系邮箱
放置地点
坪山校区（校本部）B2栋6层B617
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.三种工作模式：垂直扫描干涉测量模式（VSI）；相移干涉测量模式（PSI）；结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）；2.垂直分辨率：<0.01nm Ra；RMS重现性：0.01nm；3.垂直扫描速度：≥37微米/秒；4.自动样品台：XY移动范围≥150mm×150mm，Z方向聚焦行程：≥100mm；5.干涉物镜：50x（工作距离≥3.4mm）、10x（工作距离≥7.4mm）。
主要功能及特色
三维白光干涉表面形貌仪用于观察和分析样品表面的粗糙度，粒度，面型，平面度，平行度微观结构等，应用于太阳能、显示屏、半导体、材料科学、光学器件等一系列表面检测要求。特别适合应用在半导体、环境能源、建筑材料、汽车、显示行业、医疗植入等产业的大尺寸样品。在科学研究、产品开发、工艺控制、失效分析中有广泛的应用。
设备使用相关说明
校内：200元/小时；校外：400元/小时。
预约资源
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公告
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