FIB聚焦离子束系统

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收费标准

机时
600元/小时

设备型号

Helios 5 CX

当前状态

管理员

闫志刚 0755-23256168

放置地点

坪山校区(校本部)B4栋1层G108
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名称

FIB聚焦离子束系统

资产编号

S2005148

型号

Helios 5 CX

规格

产地

厂家

Thermoscientific

所属品牌

出产日期

购买日期

2020-05-18

所属单位

分析测试中心

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

闫志刚

联系电话

0755-23256168

联系邮箱

放置地点

坪山校区(校本部)B4栋1层G108
  • 主要规格&技术指标
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主要规格&技术指标
性能指标:
离子束系统:
离子源种类:液态Ga离子源;
交叉点分辨率:≤ 4.0nm@30kV (采用Multi-edge平均值法测量),≤ 2.5nm@30kV (采用selective edge最佳值法测量);
加速电压:最低加速电压500V,最高加速电压为30kV;
束流强度最大可达65nA;束流密度最大值可达60A/cm2;
拥有独立的分离式气体注入系统,可重新配置;
具备可直接导入Bitmap/CAD文件,按照预先设定的间距,进行离子束沉积,加工复杂图形的能力;
软件具备切片的三维重构能力;

电子束技术要求:
电子枪类型:肖特基(ZrO/W)场发射灯丝;
分辨率:在最佳工作距离:≤ 0.9nm@15kV;≤ 1.4nm@1kV;
加速电压:加速电压200V~30kV;束流强度:最大束流22nA;
可用探头:二次电子探测器、高分辨背散射电子探测器;
主要功能及特色
主要功能:
TEM透射电镜样品制备:特别是对于表面薄膜、涂层TEM样品
焊接界面TEM样品
晶界界面以及相界面等TEM样品的制备具有强大优势
制得的TEM样品可以直接用TEM透射电子显微镜观察,无需其它处理,特别适合TEM高分辨分析
SEM扫描电子显微镜结构分析:可以进行二次电子形貌分析且图像分辨率极高、背散射电子衬度分析分析速度快,标定准确度高
微纳结构加工:在微纳结构操作机械手、离子束切割等的配合下,可以进行各种微纳材料的搬运、各种微纳结构形状或图案的加工
设备使用相关说明
计费:校外1200元/小时;校内600元/小时

原则上样品自制, 如需制样, 需加收:Cu载网 50元/个
备注
00230
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